表面清潔度分析儀
- 更(geng)新時間:2023-06-29
- 產品型(xing)號:LCD1000
- 廠(chang)商(shang)性(xing)質:生產廠家
- 產品品牌:KINO
- 產品廠地(di):上海市
- 訪問(wen)次(ci)數:4210
產品介紹
表面清潔度分析儀Automatic Flat Panel Cleanness Analyzer / Water Drop Angle Meter
Model LCD1000A/LCD1000M
LCD系(xi)列表面清潔分析儀為(wei)美國科諾研(yan)制的(de)行業性分(fen)析儀器,可在(zai)分(fen)析測試水滴在(zai)液晶屏、晶圓(Wafer)、芯片或PCB板表面(mian)(mian)的(de)形成的(de)角度值的(de)基礎上(shang),進而分(fen)析Plasma效果(guo),是一(yi)種(zhong)基于界面(mian)(mian)化學分(fen)析系統的(de)表面(mian)(mian)清潔(jie)度測試系統。
本(ben)系列表(biao)面清潔度分(fen)(fen)(fen)析儀由儀器主機(ji)和CAST™2.0水滴角分(fen)(fen)(fen)析軟件(jian)兩(liang)個部分(fen)(fen)(fen)組成。根(gen)據樣品臺移(yi)動(dong)方式不同,我們將(jiang)儀器主機(ji)分(fen)(fen)(fen)為(wei)自動(dong)(LCD1000A)、手動(dong)(LCD1000M)兩(liang)種。樣品臺尺寸及其(qi)控制(zhi)行程可根(gen)據客戶(hu)(hu)要求定制(zhi)。我們為(wei)廣(guang)大(da)客戶(hu)(hu)提供性(xing)能(neng),價格合理的(de)儀器以(yi)及化的(de)產(chan)品,期(qi)盼為(wei)客戶(hu)(hu)的(de)研發與品質(zhi)控制(zhi)提供的(de)服務。
一、LCD系列表面清潔分析儀的(de)產品優勢:
1、人性化的設計,操作簡單;
→選購自動注射泵,可完成自動進液控制,精度可達0.02uL
→自動修正鏡頭傾斜角度以及水平線傾斜角度
→按測試,軟件自動完成拍照、分析敏感點、計算角度值
2、全區域測試,可支持各種規格面板
→480*480(LCD-400S)
→750*750(LCD-700S)
→900*700(LCD900S)
→1400*1400(FPD)
3、數據庫管理技術
→歷史數據可查詢
→可導出為EXCEL文檔及BMP圖片
→可錄相AVI格式,供制作PPT所用
4、CAST2.0具有多項技術
→多達6種以上接觸角計算辦法
→多達12種固體表面自由能估算模型
→支持曲面校準技術
→支持粘附功計算、WBA分析等
二、LCD系列表面清潔分析儀的功能實現:
1、測(ce)試前:
(1)通過(guo)調整進(jin)樣器前(qian)后、左右、上下移動(XYZ)及(ji)鏡頭(tou)俯(fu)仰(yang)角(jiao)度和升降(Z向),實現調整焦距的目的。
(2)通過控制導(dao)軌前后、左右移(yi)動(XY),將(jiang)注射(she)泵移(yi)動至角落后,以(yi)方(fang)便裝樣。
2、測試過程中:
(1)通過(guo)導軌前后、左右方(fang)向(XY)的(de)移動控制,實現樣品上不(bu)同點(dian)的(de)水滴角度值的(de)測試;
(2)通過移(yi)動進樣器升降移(yi)動(Z向),完(wan)成液(ye)(ye)滴移(yi)液(ye)(ye)過程(將水液(ye)(ye)滴轉移(yi)到(dao)液(ye)(ye)晶屏上(shang));
(3)通過(guo)進(jin)樣器注(zhu)出(chu)液滴,進(jin)行(xing)角度(du)分析,精度(du)可達0.02uL。
3、測(ce)試實現方法:
(1)通過相機捕捉液滴在液晶屏上的圖片后,分(fen)析(xi)敏感點,計(ji)算得出角度值;
(2)計算(suan)辦法(fa):θ/2法(fa)(WH法(fa))或圓擬合法(fa);
(3)軟件(jian)對鏡(jing)頭的(de)俯視角度進行適當的(de)修(xiu)正,以(yi)期實(shi)現(xian)更(geng)的(de)測量。
三、技術參數:軟件分析基于CAST2.0分析系統
| LCD1000A | LCD1000M | ||
全自動型 | 手動型 | |||
主機 | 主機 | 概述 | 自動控制樣品臺 | 手動控制樣品臺 |
鏡頭水平X移動 | 自動:600mm 或更大行程 精度:0.01mm | 手動:600mm或更大行程 精度:0.1mm 帶手柄 | ||
鏡頭水平Y移動 | 自(zi)動:600mm或更大行程 精度:0.01mm | 手動:600mm或更大行程 精度:0.1mm帶手柄 | ||
鏡頭上下Z1移動 | 自動:25mm 精度:0.01mm | 手動:25mm 精度:0.01mm | ||
鏡頭傾斜調整 | 手動 | 手動 | ||
樣品臺水平 | 手動 微調 | 手動 微調 | ||
進樣器控制XY | 手動 12.5mm 0.01mm 精度 | 手動 12.5mm 0.01mm 精度 | ||
進樣器控制Z | 自(zi)動 25mm 0.01mm精度 | 手動 25mm 0.01mm精度 | ||
整機升降控制Z2 | 自動 25mm 0.01mm精度 | 手動 25mm 0.01mm精度 | ||
水平調整 | 手動微調控制樣品臺水平 | |||
樣品臺 | 600*600mm 或更大 | |||
進樣器 | 自(zi)動(dong)進樣注射泵 | 手動進樣注射泵 | ||
進樣器焦距調整:手動 | ||||
光學CCD成像系統 | USB口視頻捕捉設備 25幀/秒工業黑白CCD相機 10-50倍連續放大工業鏡頭 | |||
光學系統調整 | 一維水平角度調整機構 | |||
光源系統 | 可調亮度單色冷光LED光源,水滴角圖像邊緣更清晰 | |||
通訊接口 | 主機控制及視頻系統控制均采用USB2.0通訊接口,兼容性更好、速度更快 | |||
軟件 系統 | 水滴角計算方式 | 全自動計算 按“測試”,軟件自動完成拍照、分析敏感點、計算水滴角值三個動作 | ||
水滴角計算辦法 | 共6種:*提供θ/2法、真實液滴法、圓擬合法、橢圓擬合法、曲線尺法,適用于分析動/靜態水滴角值 | |||
液滴形態 | 5種分析液滴形態:停滴(2、3態)、懸滴、氣泡虜獲法以及插板法,多種液滴形態均可適用 | |||
隨時間變化水滴角測試 | 25幀/秒隨時間變化水滴角測試,提供軟件觸發技術 | |||
動態水滴角分析 | 前進角/后退角分析 | |||
表面自由能估算 | *提供如Equation of State ( Neumann et al. )、Good-Girifalco、Owen-Wendt-Rabel、Simple Fowkes、Extended Fowkes、WU法1-2、Schultz法1-2、Acid-base(Van OSS & Good)、Jhu、Zizman臨界表面張力法等共12種表面自由能估算方法,不但能分析低能固體表面,也能分析高能固體表面,以及他們的分布(色散力、極性力、氫鍵值、路易斯酸堿等)。 | |||
粘附功計算 | 軟件自動分析 | |||
ü 自動曲面修正:上凸曲面、下凹曲面、表面粗糙度修正; | ||||
ü 自動水滴角值計算(θ/2 法)和人工計算水滴角值法切換 | ||||
ü 左右水滴角值計算與比較,平均水滴角計算 | ||||
ü 水平及俯仰角度,任意角度值修正功能 | ||||
ü 自動生成曲線圖 | ||||
ü 強大的數據庫管理功能:備份、壓縮、導出EXCEL表格 | ||||
ü 自動液滴量估算 |
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